PV-2000系列无触摸硅片厚度TTV电阻率综合测验体系为太阳能/光伏硅片及其他资料供给快速、多通道的厚度、(总厚度改变)TTV、翘曲及无触摸电阻率丈量功用。并供给根据TCP/IP的数据传输接口及根据Windows的操控体系软件,用以进行在线及离线数据管理功用。
■无触摸,用涡电流法丈量硅片电阻率技术参数:■晶圆硅片测验尺度:50mm- 300mm.■厚度测验规模:1.7mm,可扩展到2.5mm.■厚度测验精度:+/-0.25um■厚度重复性精度:0.050um■丈量点直径:8mm■TTV 测验精度: +/-0.05um
■电阻率丈量精度:2%■电阻率丈量重复精度:1%■晶圆硅片类型:单晶或多晶硅■可用在:切片后、磨片前、后,蚀刻,抛光以及出厂、入厂质量检验等■平面/缺口:一切的半导体规范平面或缺口■接连5点丈量典型客户:美国,欧洲,亚洲及国内太阳能及半导体客户。
主营产品:少子寿仪,红外探伤仪,氧碳含量仪,椭楄仪,类型测验仪,电阻率测验仪,蓝宝石等检测设备